高纯度钛主要用作半导体材料和超高真空设备中的较佳材料。高纯钛具有吸收气体的能力，特别是氢气、CH4 和 Co2 气体，因此可广泛应用于高真空和超高真空系统。使用高纯度钛溅射制造电路网络时，这些集成元件可以变得特别轻、薄、小，电路密度高。高纯钛靶材还可用作阻挡金属材料。